FMS120V係列真空步進電機高精度通用平移台：在FMS120係列基礎上，我們(men) 設計了FMS120V係列真空專(zhuan) 用位移台。FMS120V廣泛適用於(yu) 真空環境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環境、多種輻射環境以及真空度10-7~ 10-3Pa環境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS80VR真空步進電機高精度整體(ti) 台麵平移台：在FMS80R係列基礎上，我們(men) 設計了FMS80VR係列真空專(zhuan) 用位移台。FMS80VR廣泛適用於(yu) 真空環境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環境、多種輻射環境以及真空度10-7~ 10-3Pa環境中仍然能夠保持高精度運⾏。

FMSZ真空步進電機升降台：我們(men) 開發的FMSZ係列真空步進電機升降台。經過特殊設計，方便與(yu) 我們(men) 的其餘(yu) 產(chan) 品搭建成多維位移台。承載高，並可定製其它行程。搭配FMC01係列控製器。

FMSXXY170Z-200-200直線電機龍門雙驅平台：我們(men) 研發的⼤理石龍門雙驅位移台，雙向重複定位精度可達亞(ya) 微米級。行程、精度、承載均可定製。采用雙驅結構，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結合CCD等器件，可做成套設備交付客戶使用。

FMSXY係列步進電機二維掃描台：我們(men) 研發的⼀體(ti) 化步進二維位移台。控製器可內(nei) 置。雙向重複定位精度和微步能力*。結構小巧，易於(yu) 配套集成。可配標準FMC01係列控製器應用，也提供SDK給客戶做⼆次開發。

FMSXY係列直線電機中空二維掃描平台：我們(men) 開發的此款⼆維掃描位移台，采用了直驅技術，速度快，精度高，承載⼤。非常適合於(yu) 需要⼆維運動的設備和應⽤。配合菲克科技的高性能控製器能實現：位置記憶，位置觸發，任意平⾯圖形導⼊。適合與(yu) 顯微鏡⼀起使⽤，同時提供配套附件，可用於(yu) 市⾯上⼤多數顯微鏡。

FMSXY係列直線電機二維掃描台：我們(men) 開發的整體(ti) ⼆維位移台，應用於(yu) ⼀些特殊應⽤場合。亞(ya) 微⽶級精度，⼀體(ti) 化設計，高可靠性，可用於(yu) 各種需要⼆維運動的場合。配合FMC04控製器使⽤，具有微動，高速，低速等特性。

FMSZ-C係列直線電機升降台：我們(men) 的直線電機垂直升降台，可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩(liang) 種版本。特別適用於(yu) 對尺寸有特殊要求，且對Pitch，Yaw要求嚴(yan) 苛的應⽤場合。在高精度檢測、精密實驗室基本建設等應用環境下，FMSZ-C係列升降台具有結構簡單且擁有優(you) 秀的微步能力和位置穩定性的特點。