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品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 麵議 |
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
應用領域 | 綜合 |
FMS165Z-H係列超高性能平移台
l行程覆蓋150mm、200mm、250mm與(yu) 300mm
l最小步進距離可達50納米
l高達5納米分辨率的光柵尺編碼器
l靜音位移台
l拖鏈內(nei) 置,方便線束管理
l免費標準版SDK
l高性能控製器
l可選配EtherCAT總線控製
產(chan) 品簡介
FMS165Z-H係列超高性能平移台:電動運動平台同時具有高精度特性、高速能力、超低速運行能力、高穩定特性是非常困難的。2022年,我們(men) 專(zhuan) 門為(wei) 複雜科研應用開發了旗艦係列產(chan) 品FMS165Z- H超高性能平移台。FMS165Z-H解決(jue) 了超低速運行穩定性難題,采⽤超高分辨率光柵尺配合超高精度裝配工藝,使該係列平移台有優(you) 秀的超低速運行能力並達到亞(ya) μm級重複定位精度。FMS165Z-H采用內(nei) 置拖鏈,方便線束管理,結合我們(men) 高性能版本的FMC04-H係列控製器,能較好呈現高性能版本控製器的所有高級功能,運行速度最高可達1m/s。
產(chan) 品應用
l工業(ye)
l飛秒加工
l半導體(ti)
l顯微掃描
l光纖延遲線
l激光切割機
l激光焊接機
l醫療
l儀(yi) 器設備製造
性能實測
接線定義(yi)
電機接⼝
反饋接⼝
產(chan) 品圖紙
FMS165Z-150H
FMS165Z-200H
FMS165Z-250H
FMS165Z-300H
產(chan) 品參數
Model | FMS165Z-150H | FMS165Z-200H | FMS165Z-250H | FMS165Z-300H |
⾏程(mm) | 150 | 200 | 250 | 300 |
負載(Kg) | 40 | 20 | 40 | 20 |
分辨率(μm) | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
最⼩步進量(μm) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
單向重複定位精度/保證值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
單向重複定位精度/典型值(μm) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
雙向重複定位精度/保證值(μm) | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 |
雙向重複定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
定位精度/保證值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
最⼤速度(mm/s) | 500 | 500 | 500 | 500 |
直線度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
偏擺(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
俯仰(arcsec) | 15 | 15 | 15 | 15 |
持續推⼒(N) | 58 | 29 | 58 | 29 |
峰值推⼒(N) | 200 | 100 | 200 | 100 |
重量(kg) | 13.5 | 13 | 18 | 17.5 |
產(chan) 品谘詢